超純水設備的反滲透膜在出現一些情況后需要進行清洗，才能恢復其性能。

當系統運行出現下列情況時，應進行化學清洗操作：

       1、裝置產水量比初始投運時(上次清洗后)降5～10%。

       2、裝置脫鹽率比初始運行時(或上次清洗后)降5～10%。

       3、裝置各段壓力差比初始投運時(或上次清洗后)增加1倍時。

       4、裝置若長期停運且用甲醛保護，系統重新啟動前。

       出現以上四種情況之一時，反滲透膜應進行清洗。清洗方法有二種，即低壓水沖洗(0.3Mpa)或化學藥劑清洗。一般應盡力采用低壓水清洗，當不能得到良好清洗效果時再采用藥劑清洗。當采用藥劑清洗時，無機結垢污染物，推薦使用酸性清洗液;微生物或有機污染物，推薦使用堿性清洗液。